报告会现场

为促进学术交流，丰富科研人员专业知识，8月8日，华中科技大学刘世元教授应邀到光电技术研究所做题为“偏振光学及其在椭偏测量与光学光刻中的应用”和“面向纳米制造的计算光刻与计算测量研究”的学术报告。

刘世元教授在报告中介绍了偏振光的基本原理、椭偏测量方法与偏振光在光刻中的应用等基本知识。同时分享了由其带领的科研团队在计算光刻和计算测量、纳米制造和纳米测量等方面的最新研究成果。他还特别介绍，该团队研制的新型广义椭偏仪可以比原有椭偏仪测量更多的参数。报告结束后，刘世元教授与听众就光刻仿真、偏振光学等多个方向的问题进行了深入探讨。

刘世元教授是教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者，美国光学学会(OSA)、国际光学工程学会(SPIE)、国际电气电子工程学会(IEEE)、中国微米纳米技术学会、中国机械工程学会高级会员。现任华中科技大学机械科学与工程学院、数字制造设备与技术国家重点实验室、武汉光电国家实验室微纳制造研究部教授、博士生导师，机械电子信息工程系副主任。

近年来，刘世元教授主持了10余项国家级科研项目，组建并带领科研团队在微纳测试技术、纳米光学测量、光学精密仪器、微纳制造技术、步进扫描投影光刻机基础理论与关键技术等方面开展了卓有成效的研究，取得了一批有影响的科研成果，共获国家发明专利13项，发表论文100余篇，其中SCI和EI收录80余篇。