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22-14纳米集成电路器件工艺先导技术

发布时间：2018-01-09

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　　项目名称：22-14纳米集成电路器件工艺先导技术

　　第一完成单位：微电子研究所

　　获奖级别：技术发明奖二等奖

（责任编辑：陈丹）

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